3.2 施工准备
3.2.1 微电子生产设备安装工艺流程应符合本规范附录B的要求。
微电子生产设备安装工艺流程是生产设备安装施工组织设计的重要内容之一。附录B是近几十年来从事微电子生产设备安装人员总结出来的工艺流程，可供施工单位参照使用。
3.2.2 施工人员进入洁净区应在更衣室穿好洁净服、洁净鞋，并应戴好内置式安全帽、一次性洁净口罩和一次性洁净手套，经风淋后进入洁净区，严禁从物流通道进入，进出洁净区流程应符合本规范附录C的要求。
本条对施工人员进出洁净区的着装及有关事项作出规定。附录C是人员进出洁净区的流程示例。在实施中，当建设单位已建立人员进出洁净区管理制度时，应遵守建设单位的规定，这些规定都是为了洁净室的净化指标不受破坏而设置的。
3.2.3 临时设备搬入平台的搭建应符合下列规定：
1 设计载荷应按最重设备、最多作业人数、机具的总载荷及作业时产生的振动确定。
2 平台边长应大于最大设备包装箱长边，并应留有适当的操作场地。
3 平台整体上应略向室内倾斜，并应与室内地坪同高，且表面应平整。
4 平台上应设置高度为1.2m的安全护栏，吊运设备跨越护栏处宜设置栅门。
为防止在垂直搬运中发生人身及设备事故，并使开箱作业能顺利进行，条文对搬入平台的搭设提出了具体要求。在护栏适当部位设置门扇的目的，是当吊车提升高度稍有不足时可将门扇打开，设备从护栏的这个缺口部位吊上平台，这样对吊车的提升高度要求可降低一个护栏的高度，确保吊装作业顺利进行。实践证明这是非常有效的措施。在作业时此门通常处于关闭状态，只有需要时才能开启，此时应有防止人员从高空坠落的措施。
3.2.4 用于洁净室（区）安装设备的材料应符合下列规定：
1 应无尘、无锈、无油脂，且在使用过程中不应产尘埃。
2 设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作。若无要求时，可用不锈钢板制作；对重量轻、无需调节水平度的非精密设备，也可采用厚度不小于6mm的硬PVC板制作。
3 不锈钢膨胀螺栓应有产品合格证书；不锈钢化学锚固螺栓除应有产品合格证书外，还应有使用说明书。
4 用于制作独立基础和地板加固的碳钢型材应经过热镀锌处理。
5 用于嵌缝的弹性密封材料的化学成分应经建设单位批准，材料应有注明成分、品种、出厂日期、储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书，不得使用过期产品。
6 用于管道氩弧焊的保护气体、压力试验的气体以及用于管道吹扫的气体，其纯度不得低于管网本底输送气体的纯度。
进入洁净室的材料不得附着尘埃、铁锈、铜锈、油腻，并要求所用材料在使用过程中不生锈、不散发尘埃，避免破坏工艺环境。使用的紧固件、密封材料应有产品合格证都是为了同一目的。第6款规定用作管道氩弧焊的保护气体、压力试验用气体、吹扫气体，其纯度不得低于管网本底气体的纯度，是为了保证焊接质量，防止对管道内腔造成污染。
3.2.5 用于洁净区安装的机具应符合下列要求：
1 洁净区使用的机具不得在非洁净区使用，非洁净区使用的机具也不得在洁净区使用。
2 机具外露部分不应产尘埃，或具有防止尘埃污染环境的措施。
3 机具搬入洁净区前应在室外擦洗干净，然后通过设备搬入口搬入气闸室或相当的场所进行最后的清洁处理，应达到无尘、无锈、无油垢的要求，并应在经检查合格后贴上“洁净”或“洁净区专用”标识搬入。
为防止对洁净室（区）和开箱后的设备被污染，对在洁净室（区）内使用的机具需提出洁净要求。
3.2.6 用于室外搬运的机具应符合下列要求：
1 应选用性能良好、安全可靠的机具，机具规格、参数应能满足设备运输负荷及外形尺寸的要求。
2 用于起吊设备的吊索应有足够的强度和韧性，在能够满足负荷要求时，应采用尼龙吊带或锦纶吊带。
3 当尼龙吊带或锦纶吊带的承载能力不能满足起吊设备荷载要求时，应采用较柔软的钢丝绳外套尼龙软管的吊索。
本条对室外搬运用机具从可靠性及吊具的强度、索具的柔软性方面提出了要求，防止在捆绑、吊装、运输过程中对人员和设备造成伤害。