3 基本规定
3.1 施工条件
3.1.1 设备中转库及储存应符合下列要求：
1 微电子生产设备中转库应清洁、干燥、通风，有效空间高度、门的高度及宽度应能满足单体设备最大外包装箱搬入的要求，地面应平整且能满足叉车搬运最重设备的荷载要求。
2 当微电子生产设备储存有恒温恒湿要求时，中转库除应满足本条第1款的要求外，还应满足特定的温湿度要求。
3 设备储存应符合下列要求：
1）设备存放宜按行、列有序排列，严禁倒置，堆叠高度不得超过4.5m，并应留有设备出库时叉车的通道；
2）存放设备数量多时，宜绘制设备放置平面图，在图上应标出设备名称、型号及存放位置编号；
3）小型精密设备应存放在器材架上；
4）严禁存放腐蚀、易燃、易爆物品，严禁火种接近。
对设备中转库提出要求。
1 对微电子生产设备中转库的结构、库内环境要求作出规定。
2 规定当设备储存有恒温恒湿要求时，中转库除满足第1款要求外还应满足其特定的温湿度要求，这类设备包括曝光设备、刻蚀设备、电子扫描仪等对温度特别敏感及设备制造商对设备仓库温湿度有明确要求的设备。
3 对设备存放作出的这些规定，目的在于保证设备出库时不致因设备存放混乱而造成倒库，增加设备损坏的风险，浪费设备出库的时间，这也是保证设备安装进度的措施之一。在第4项中明确规定禁止存放具有腐蚀性、易燃易爆的物品，严禁火种接近的要求，其目的不仅是为了保证人身安全，也是为了保证设备的安全。因为微电子生产设备特别昂贵，所以在设备安装的任何一个环节，对设备的安全都是重点考虑的问题。
3.1.2 生产设备安装应具备下列文件：
1 生产设备平面布置图。
2 设备清单及设备装箱单。
3 设备搬运路线图。
4 建设单位或设备制造商提供的设备安装、运行、维护技术文件及设备安装技术参数。其中，设备安装技术参数内容应符合本规范附录A的要求。
5 设备防微振基础、独立基础制作图。
6 活动地板承载能力参数及设备搬运路径上固定地板承载能力参数。
7 生产设备二次配管配线图。
8 施工组织及施工方案。
本条列出了微电子生产设备安装工程施工应具备的技术文件，其中第1～7款的技术文件应由建设单位提供给施工单位，设备安装技术参数由设备制造商提供。附录A给出了提供设备安装技术参数的表式，其中所列项目不尽齐全，实际使用时可根据实际情况补充内容，制造商应提供每台设备的详细技术参数。表内要求提供的特种气体参数及化学品参数虽然本规范不涉及，但设备生产商提供这些安装技术参数对于设备安装和试运行是必要的。
3.1.3 安装生产设备前洁净厂房应空态验收合格，空调系统应连续正常运行24h以上，且照明系统应正常工作。
提出洁净厂房空态验收合格，且空调系统连续正常运行24h以上，目的是保证各洁净室的洁净度、温湿度、房间压差等环境参数达到设计要求，从而满足微电子生产设备对环境的要求，也是保证试生产成功的前提，所以将这一条定为微电子生产设备搬入安装的基本条件。
3.1.4 人员净化室应启用，并应有专人按洁净厂房管理制度进行管理。
安装生产设备时，人流已进入受控阶段。为确保洁净室（区）净化指标不被破坏，人员进入洁净区应经过已启用的人员净化室，其他临时入口一概封堵。故在条文中作出人员净化室应启用并有专人按洁净厂房管理制度进行管理的规定。
3.1.5 施工人员应经净化厂房设备安装作业培训，并应取得进入洁净区的通行证。
为增强设备安装施工人员洁净意识，了解建设单位制订的洁净厂房管理制度，确保洁净室（区）环境参数不致因施工人员的不规范行为遭到破坏而做出的规定。
3.1.6 起重工、焊工、电工等特殊工种应按有关规定持证上岗。